我們都了解,靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料。靶材種類比較多,有金屬類、合金類、氧化物類等等,用的行業(yè)也有所不同,應用很廣泛。那么常見的金屬靶材有哪些?凱澤金屬整理如下：
常見金屬靶材的種類如下：
常規(guī)金屬靶材鎂Mg、錳Mn、鐵Fe、鈷CO、鎳Ni、銅Cu、鋅Zn、鉛Pd、錫Sn、鋁AL
小金屬靶材銦In、鍺Ge、鎵Ga、銻Sb、鉍Bi、鎘Cd
難熔金屬靶材鈦Ti、鋯Zr、鉿Hf、釩V鈮Nb、鉭Ta、銘Cr、鉬Mo、鎢W、錸Re
貴金屬靶材金Au、銀Ag、鈀Pd、鉑Pt、銥lr、釕Ru、銠Rh、鋨Os
半金屬靶材碳C、硼B(yǎng)、碲Te、硒Se
稀土金屬靶材釓Gd、釤Sm、鈽Ce、釔Y、鑭La、鏡Yb、鉺Er、鋱Tb、鈥Ho、銩Tm、釹Nd、鐠Pr、镥Lu、銪Eu、鈧Sc
陶瓷靶材氧化鋅鋁AzO、氧化銦錫∏O、氧化鋅ZnO、氮化鋁AN、氮化鈦TN、氮化硼B(yǎng)N、鈦酸鋇 Batio3、鈦酸鉍 Bilio3、碳化硅SiC、鈦酸鍶 Srtio3、碳化鈦TC、碳化鎢WC、鈮酸鋰 Linbo3
合金靶材金錫合金AuSn、金鍺鎳合金 AuGeNi、鋅鋁合金ZnAl、鋁銅合金AlCU、鈷鐵硼臺金 Cofeb、鐵錳合金FeMn、銥錳合金lrMn 鋯鈦合金Z「T、鎳鉻合金NiCr、銅鋼鎵合金 Cuin ga、銅鋅錫硫合金CZTS
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